品牌ADVANCED ENERGY | 有效期至长期有效 | 最后更新2023-10-15 23:49 |
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ADVANCED ENERGY 射频等离子发生器Apex系列
功率密度高,实现紧凑型安装
在空间有限但性能至关重要的情况下,简化版 Apex 射频发生器能提供您可以信赖的各种安装选项和功率。
腔室、机架或框架等安装选项,在提供方便的同时还可降低功率损耗
通过电弧管理实现卓越性能
13.56 MHz 频率下输出功率选择从 1.5 kW 至 10 kW