品牌EDWARDS | 有效期至长期有效 | 最后更新2024-12-09 22:39 |
浏览次数120 |
EDWARDS 磁悬浮涡轮分子泵系列
Advanced 系列提供高水平的吞吐量,非常适合您的半导体蚀刻和 CVD 工艺:
占地面积小
吞吐速度从 300 l/s 到 4,500 l/s
吞吐量高达 6 slm 并提高了 H2、N2 和 Ar 性能 面议
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