品牌Pfeiffer | 有效期至长期有效 | 最后更新2023-06-16 10:23 |
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上海伯东Pfeiffer 四 杆质谱分析仪 PrismaPlus
残余气体分析质谱仪 PrismaPlus--四 杆质谱分析仪
上海伯东代理德国 Pfeiffer 残余气体质谱 QMG系列,模块化设计,质量数范围 1-100 amu、1-200 amu 和 1-300 amu。内置四 分析仪、四 电子装置、电源件和Quadera 软件。残余气体质谱 QMG系列离子源配备两组灯丝,适用于多种测量用途,使用寿命长。
Pfeiffer 四 质谱仪 PrismaPlus 主要优势:
1. 模组化设计提供了产品 好的适应性
2. 结构紧凑,性能出众
3. 多种介面,系统集成简单
4. 可通过乙太网网路化
5. 测试过程快速稳定,解析度高
6. 分析器以及电子的可替换性
7. 双灯丝设计保证 大的可靠性
8. 低的可检测分压达1 x 10E-14 mbar
9. 配置Quadera®软体,操作直观
残余气体分析仪 PrismaPlus 技术参数:
型号 |
QMG 220 F1 |
QMG 220 F2 |
QMG 220 F3 |
QMG 220 M1 |
QMG 220 M2 |
QMG 220 M3 |
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检测器 |
法拉 Faraday (F) |
电子倍增器/法拉 C-SEM/Faraday (M) |
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质量数 amu |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
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四 杆直径/长度 |
6/100 mm |
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小检测 限 F mbar |
1X10-12 |
2X10-12 |
4X10-12 |
5X10-12 |
1X10-11 |
2X10-11 |
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小检测 限 M mbar |
- |
- |
- |
1X10-14 |
< 2X10-14 |
< 4X10-14 |
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对Ar的灵敏度 F A/mbar |
1X10-3 |
6X10-4 |
3X10-4 |
5X10-4 |
3X10-4 |
1.5X10-4 |
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对Ar的灵敏度 M A/mbar |
- |
- |
- |
200 |
200 |
100 |
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大工作压力 F |
1X10-4 mbar |
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大工作压力 M mbar |
- |
- |
- |
1X10-5 |
1X10-5 |
1X10-5 |
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对临近质量数的影响 |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
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操作温度 F |
150 °C |
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烘烤温度 F |
200 °C / 300 °C |
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连接法兰 |
DN 40 CF-F |
|||||||||
重量 |
2.4 kg |
2.4 kg |
2.4 kg |
3.8 kg |
3.8 kg |
3.8 kg |
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残余气体分析质谱仪应用:四 质谱仪 QMG非常适合于检漏,残气分析以及综合定量分析
1. 冶金 2. 真空炉 3. 加速器 4. 溅射工艺分析 5. 半导体生产 6. 玻璃镀膜 7. 研发 8. 真空工艺
上海伯东残余气体分析质谱仪客户案例 :分子束外延 MBE 气体分析
上海伯东残余气体分析质谱仪客户案例二:对 XPS 系统的分析室残余气体进行定性和半定量分析
上海伯东残余气体分析质谱仪客户案例三:分析真空钎焊过程中产生的气体成分和含量
1.设计紧凑
PrismaPlusTM是新型定量定性气体分析和检漏的质谱仪。该四 质谱仪积累了丰富的应用经验,高灵敏度,高稳定性和智慧化操作的完美结合是 PrismaPlusTM 四 质谱仪新的优点。在适用中客户将感受到它坚固,紧凑的设计和简单的系统集成,并从中受益。
2.应用范围广阔
通过可选择质量数范围,检测器、离子源和介面介面等,该四 质谱仪可以应用于多个*域,例如:工业和分析*域、研发、检漏、半导体生产以及镀膜工艺等。PrismaPlusTM 四 质谱仪是从品质保证,残气分析直至综合的定量分析工作等应用*域的 佳方案。
3.检测速度快,灵敏度高
PrismaPlusTM 四 质谱仪可 以在三个不同的质量数范围(1-100,1-200,1-300 amu)内,下至检测 限1*10-14 mbar 情况下给出精确的检测结果。在真空系统中,配合有效的法拉, 和电子倍增检测仪,即使很低程度的污染也可以被快速地识别出来。除显示可选择的分压外,直接增加 个压力量规,PrismaPlusTM 四 质谱仪就可以作为 个精确的全压监控器使用。
4.智慧化的软体
Quadera 软体不仅操作简单,它还提供了捕获和观察所有测试资料以及参数记录的易读平台。结合多种可供选择的介面介面,例如乙太网,数位式和类比式输入输出,可以方便地集成到各种系统中去。轻点滑鼠就可以启动预设的功能。
PrismaPlusTM 四 质谱仪尺寸及配件:
Pfeiffer 气体质谱分析仪:上海伯东真空产品事业部是德国 Pfeiffer 指定销售维修中心,我司是国内 早代理 Pfeiffer 产品的公司,100% 原装进口并提供 Pfeiffer 全系列真空产品的售后维修服务。
若您需要进*步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗*生 台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
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