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革命性的新设计可快速均匀地固化 UV 胶带，具有长寿命光源，可处理 大 300 毫米的所有尺寸晶圆。
365 型紫外线照射系统无需外部通风且占地面积小。
特征
在 5 秒内固化大多数 UV 胶带
可编程 N 2 吹扫和固化时间
触摸屏控制
自诊断（如果 LED 出现故障，则发出警报，识别有故障的 LED 模块）
10,000 小时 LED 寿命。
不产生臭氧
冷却风扇温度控制
大曝光面积可固化 300 毫米框架，易于清洁
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上海佳武自动化科技有限公司
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Semiconductor Equipment Corp 紫外曝光系统365型系列
详细信息 概述
革命性的新设计可快速均匀地固化 UV 胶带，具有长寿命光源，可处理 大 300 毫米的所有尺寸晶圆。
365 型紫外线照射系统无需外部通风且占地面积小。
特征
在 5 秒内固化大多数 UV 胶带
可编程 N 2 吹扫和固化时间
触摸屏控制
自诊断（如果 LED 出现故障，则发出警报，识别有故障的 LED 模块）
10,000 小时 LED 寿命。
不产生臭氧
冷却风扇温度控制
大曝光面积可固化 300 毫米框架，易于清洁 |