这方面的 个例子可以是将正压的样气引入真空室。该腔室的下游将是 SBPR 和真空泵。正压将在腔室中建立,导致 SBPR 打开并允许腔室返回所需的真空。然后 SBPR 将关闭并重复该过程。由真空辅助弹簧辅助的大直径隔膜为用户提供 佳的低于大气压控制的灵敏度。
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GO REGULATOR 背压调节器SBPR系列
详细信息 SBPR 系列低于大气压的背压调节器旨在提供精确的上游真空控制。
这方面的 个例子可以是将正压的样气引入真空室。该腔室的下游将是 SBPR 和真空泵。正压将在腔室中建立,导致 SBPR 打开并允许腔室返回所需的真空。然后 SBPR 将关闭并重复该过程。由真空辅助弹簧辅助的大直径隔膜为用户提供 佳的低于大气压控制的灵敏度。 |