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Advanced Energy 的直流电源提供双磁控管溅射应用中所需的卓越性能和可靠性。
采用主动电弧管理，而非通用预设电弧响应
每 1 kW 输出能量小于 0.4 mJ
通过电弧条件确保工艺稳定且可重复
针对更高功率应用的主/从配置
更高的功率等 ，减少电弧损坏
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上海佳武自动化科技有限公司
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ADVANCED ENERGY 等离子发生器Ascent AMS系列
详细信息 在 端电弧条件下提供稳定功率输出获得重复性高的优质薄膜
Advanced Energy 的直流电源提供双磁控管溅射应用中所需的卓越性能和可靠性。
采用主动电弧管理，而非通用预设电弧响应
每 1 kW 输出能量小于 0.4 mJ
通过电弧条件确保工艺稳定且可重复
针对更高功率应用的主/从配置
更高的功率等 ，减少电弧损坏 |