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上海佳武自动化科技有限公司

郭经理女士

经营范围：ACM RESEARCH刷洗设备、ACM RESEARCH涂胶设备、ACM RESEARCH清洗设备

主营行业：

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	ACM RESEARCH 槽式湿法清洗设备系列　　主要优势　　槽式SPM清洗模块与单片清洗腔体相结合来进行去胶工艺。SPM的寿命可通过使用时间和工艺片数来控制。现阶段，SPM的使用量跟单片高温清洗设备相比能减少80%以上。　　单片晶圆腔体内可配置通用药液比如DHF,SC1,SC2和O3。可按要求配置喷嘴和/或者兆声波清洗来提高去除颗粒污染物的效率。　　工艺的顺序可灵活设置，该设备可按照不同的产品需求进行槽式清洗工艺或者只进行单片清洗工艺。	2023-08-15
	ACM RESEARCH 清洗设备TAHOE系列　　主要优势　　槽式SPM清洗模块与单片清洗腔体相结合来进行去胶工艺。SPM的寿命可通过使用时间和工艺片数来控制。现阶段，SPM的使用量跟单片高温清洗设备相比能减少80%以上。　　单片晶圆腔体内可配置通用药液比如DHF,SC1,SC2和O3。可按要求配置喷嘴和/或者兆声波清洗来提高去除颗粒污染物的效率。　　工艺的顺序可灵活设置，该设备可按照不同的产品需求进行槽式清洗工艺或者只进行单片清洗工艺。	2023-08-15
	ACM RESEARCH 单晶圆清洗设备系列	2023-08-15
	ACM RESEARCH 兆声波清洗设备TEBO系列　　主要优势　　智能兆声波技术　　使用便捷　　精确控制　　减少成本、保护环境　　特性和规格　　多可配至12套清洗腔体, 产能可达375 片/小时　　具有双面清洗能力, 多可配至5种清洗药液，工艺灵活　　多可以回收2种药液　　使用高温IPA干燥技术　　配备TEBO智能兆声波组件　　集成式药液供给模块，可供给DHF，SC1，SC2, 功能水，二氧化碳水等	2023-08-15

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